簡要描述:PECVD系統(tǒng)爐即等離子增強化學氣相沉積爐,是一種基于等離子體化學氣相沉積技術(shù)的薄膜沉積設備,是一款三溫區(qū)開啟式管式爐,其最高溫度可以達到1200℃(1200℃<1H)。
產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION相關(guān)文章
RELATED ARTICLES品牌 | HF.weiyuansu | 升溫速度(達到最高溫) | ≤5/min |
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加熱方式 | 鐵鉻鋁合金絲 | 最大功率 | 7.1kW |
控溫精度 | ±1℃ | 最高溫度 | 1200℃ |
價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 管式爐 |
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,地礦,冶金,航天,綜合 |
長期使用溫度 | 1100℃ | 可選管徑 | φ50、φ60、φ80、φ100、φ130 |
CVD系統(tǒng)(高真空)PECVD系統(tǒng)爐
OYS-1200C-Ⅲ+GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)
OYS-1200C-Ⅲ——翻蓋爐
一款三溫區(qū)開啟式管式爐,其最高溫度可以達到1200℃(1200℃<1H)。爐管為高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭,可以在真空或氣氛保護環(huán)境下對樣品進行熱處理。CVD系統(tǒng)(高真空)PECVD系統(tǒng)爐對于控溫系統(tǒng),可設置30段升降溫程序,控溫精度±1℃。
技術(shù)資料
產(chǎn)品型號 | 翻蓋爐 OYS-1200C-Ⅲ(φ50、φ60、φ80、φ100、φ130) |
主要產(chǎn)品參數(shù) | 電源:220V 50/60Hz 額定功率:7.1 KW 最高工作溫度:1200℃(<0.5 h) 連續(xù)工作溫度:1100 ℃ 推薦升溫速率:≤10℃/min 加熱區(qū)長度:加熱區(qū)長度:900mm(三個溫區(qū)段都為300mm) 熱電偶:K型 外形尺寸:1675mm*645mm*865mm |
爐體結(jié)構(gòu)&溫控 | 爐體結(jié)構(gòu)&溫控:采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng);爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料,減少能量損失;內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命;三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統(tǒng)控制;包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能;控溫精度±1℃;默認DB9PC通信連接端口;可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù) |
加熱元件 | 鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb |
爐管尺寸 | 石英管口徑可選φ50、φ60、φ80、φ100、φ130 |
真空密封 | 標配:一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈 選配:為了更快的獲得較高的真空度,建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數(shù)字式真空顯示計 |
法蘭接口 | 為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接;多種接頭可選,具體請咨詢我公司銷售經(jīng)理 |
真空度 | 采用雙旋片式機械真空泵真空度可以達到10-2torr;如您想獲得更高的真空度(<10-5torr or better)可選國產(chǎn)或進口高真空機組 |
可選 | 本公司還可以提供防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8*105至1125torr,不需因測量氣體種類不同而需要轉(zhuǎn)換系數(shù) |
認證標準及核心零部件 | CE、UL等認證,核心零部件有ABB、歐米茄、東明等采用ABB電器元件 |
售后 | 質(zhì)保期一年,終身維護;24小時在線服務 |
注意事項 | 爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPA;由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等);氣體的流量應限制在<200 SCCM(或200ml/ min) |
免責聲明 | 本產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等) 僅供參考。如果您對參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細信息,請與我司銷售人員聯(lián)系。本信息不構(gòu)成任何要約或承諾,我司會不定期完善產(chǎn)品,恕不另行通知,請您見諒 |
質(zhì)子供氣系統(tǒng)GYS-3Z參數(shù)表是一款低成本的流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜最大可以承重1000Lbs,與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設定和狀本示都集中在一個7寸的LCD觸摸屏上,便于操控的同時,可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設備廣泛應用于材料接種CVD實驗和各種材料的退火實驗。
一、OYS-300F風冷分子泵機組參數(shù)表產(chǎn)品簡介
此機組為風冷機組無需冷卻,本機組極限真空5*10-5Pa ,充分考慮到實驗室及一些研究院所的使用條件,大大方便了客戶的使用范圍,本產(chǎn)品為一鍵啟動模式,大大降低了對使用者的專業(yè)要求。JTFB-300F分子泵為抗沖擊型。
二、技術(shù)資料
產(chǎn)品型號 | GYS-3Z |
產(chǎn)品參數(shù) | 電源:220V 50/60HZ 額定功率:23 W 流量計范圍:1-100SCCM;1-200SCCM;1-500SCCM 有一機械壓力表安裝在前面板上,與混氣管相連接 壓力表量程:-0.1~0.15MPa 混氣罐尺寸: φ80*120mm |
氣口/閥門 | 內(nèi)部連接管道為Ø6.35 |
產(chǎn)品尺寸 | 外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm |
重量 | 約30KG |
產(chǎn)品特點 | 適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱管 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便 采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準確,方便操作 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸 |
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